Product laser
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激活深度≥7μm
單位小時產出＞25 @8"
優(yōu)異的方阻均勻性和表面顏色
完整的全程監(jiān)控反饋能力
支持超薄片、TAIKO片、翹曲片退火
具備激光輔助加熱系統(tǒng)
| 設備型號 | DR-S-LA200S | DR-S-LA300S | DR-S-LA200D | DR-S-LA300D |
| 適用晶圓尺寸 | 6/8寸兼容 | 8/12寸兼容 | 6/8寸兼容 | 8/12寸兼容 |
| 激光能量密度 | ≥5J/cm2 | ≥5J/cm2 | ≥5J/cm2 | ≥5J/cm2 |
| 激光穩(wěn)定性 | ≤ 2%，RMS | |||
| 激活率 | ≥95% @B Implant，≥90% @P Implant | |||
| 均勻性 | 片內：≤1%，片間：≤1%，@8"，RS | |||
| 潔凈度控制 | ≤30 @ 0.5μm，≤5 @ 1μm | |||
| 自動傳片系統(tǒng) | 雙晶圓裝載口、多關節(jié)機器手、預準直器 | |||
